叔丁基 2-[4-(二苯基鍺)苯氧基]乙酸酯，九氟甲磺酸鹽 CAS#: 857285-80-4 • ChemWhat

識別	物理數據	光譜
合成路線（ROS）	安全與危害	其他數據

產品描述*	三苯基鍺，與 1-(二氟磺甲基)-2,2,2-三氟乙基三環[3.3.1.13,7]癸烷-1-羧酸酯 (1:1) 的鹽
IUPAC名稱	[4-[2-[(2-methylpropan-2-yl)oxy]-2-oxoethoxy]phenyl]-diphenylsulfanium;1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate
分子結構
CAS登記號碼	857285-80-4
EINECS號碼	沒有可用數據
MDL號碼	沒有可用數據
Beilstein登記號碼	沒有可用數據
同義詞	(4-(2-(tert-butoxy)-2-oxoethoxy)phenyl)diphenylsulfonium 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate(4-(2-(tert-butoxy)-2-oxoethoxy)phenyl)diphenylsulfonium nonafluoro-n-butane-sulfonate4-tert-butoxycarbonylmethyloxyphenyldiphenylsulfonium nonafluoro-n-butanesulfonatep-t-butoxycarbonylmethoxyphenyldiphenylsulfonium nonafluoro-n-butanesulfonate
分子式	C28H25F9O6S2
分子量	692.604
INCHI	InChI=1S/C24H25O3S.C4HF9O3S/c1-24(2,3)27-23(25)18-26-19-14-16-22(17-15-19)28(20-10-6-4-7-11-20)21-12-8-5-9-13-21;5-1(6,3(9,10)11)2(7,8)4(12,13)17(14,15)16/h4-17H,18H2,1-3H3;(H,14,15,16)/q+1;/p-1
InChI鍵	QGJXWNMBTQGAFT-UHFFFAOYSA-M
典範 SMILES	CC(C)(C)OC(=O)COc1ccc(S+c2ccccc2)cc1.O=S(=O)([O-])C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F

專利信息
沒有可用數據

沒有可用數據

GHS危害聲明

未分類

使用模式

用於半導體光刻的光酸發生器（PAG）

CAS 857285-80-4 的主要用途是作為化學放大光阻中的光酸生成劑 (PAG)。該化合物中的鍺陽離子在紫外光、深紫外光、電子束或極紫外光照射下會產生強酸，從而在半導體製造中實現高分辨率圖案化。

先進的光阻配方

應用於：KrF (248 nm) 光阻、ArF (193 nm) 光阻、EUV 光阻、高解析度微納圖案化材料。九氟酸根反離子賦予其強酸性、良好的熱穩定性和可控的酸擴散，這對於先進的光刻製程至關重要。

微電子和MEMS製造

電子材料研究


批准的製造商
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叔丁基 2-[4-(二苯基鍺)苯氧基]乙酸酯，九氟甲磺酸鹽 CAS#: 857285-80-4; ChemWhat 代號：1499775