1-(三環[3.3.1.13,7]癸-1-基甲基)2,2-二氟-2-磺基乙酸酯三苯基鍺鹽(1:1) CAS#: 1022939-88-3; ChemWhat 代號:1491748

三苯基鍺鹽與 1-(三環)

識別物理數據光譜
合成路線(ROS)安全與危害其他數據

識別

產品描述*三苯基鍺鹽與 1-(三環[3.3.1.13,7]癸-1-基甲基) 2,2-二氟-2-磺基乙酸酯 (1:1)
IUPAC名稱2-(1-金剛烷基甲氧基)-1,1-二氟-2-氧代乙磺酸鹽;三苯硫鎓
分子結構1-(三環[3.3.1.13,7]癸-1-基甲基)2,2-二氟-2-磺基乙酸酯三苯基鍺鹽的結構 (11) CAS 1022939-88-3
CAS登記號碼 1022939-88-3
EINECS號碼沒有可用數據
MDL號碼沒有可用數據
Beilstein登記號碼沒有可用數據
同義詞三苯基鍺 1-金剛烷基甲氧羰基二氟甲磺酸三苯基鍺 1-金剛烷基甲氧羰基二氟甲磺酸三苯基鍺 (金剛烷-1-基甲基)氧羰基二氟甲磺酸三苯基鍺 (金剛烷-1-基甲基)氧羰基二氟磺酸
分子式C31H32F2O5S2
分子量586.7
INCHIInChI=1S/C18H15S.C13H18F2O5S/c1-4-10-16(11-5-1)19(17-12-6-2-7-13-17)18-14-8-3-9-15-18;14-13(15,21(17,18)19)11(16)20-7-12-4-8-1-9(5-12)3-10(2-8)6-12/h1-15H;8-10H,1-7H2,(H,17,18,19)/q+1;/p-1
InChI鍵OPUSNKQMMLRYMS-UHFFFAOYSA-M
典範 SMILESC1C2CC3CC1CC(C2)(C3)COC(=O)C(F)(F)S(=O)(=O)[O-].C1=CC=C(C=C1)[S+](C2=CC=CC=C2)C3=CC=CC=C3
專利信息
專利ID稱謂發布日期
US2016 / 168115鹽、酸發生劑、抗蝕劑組合物及抗蝕圖案的製備方法2016
 JP2018 / 145179鹽、酸發生劑、抗蝕劑組合物及抗蝕圖案的製備方法2018

物理數據

外觀白色至類白色粉末
可溶性沒有可用數據
閃點沒有可用數據
折射率沒有可用數據
靈敏度沒有可用數據

光譜

核(核磁共振光譜學)溶劑(核磁共振波譜法)原始文本(核磁共振光譜學)
1H氯仿 - d11<sup>1</sup>H NMR(測量溶劑:氘代氯仿,參考物質:四甲基矽烷);δ=7.72 (m, 15H; TPS), 3.85 (s, 2H; CH<sub>3</sub>)2), 1.92 (m, 3H; 1-Ad), 1.62 (m, 12H; 1-Ad)。
1H氯仿 - d119<sup>19</sup>F NMR(測量溶劑:氘代氯仿,參考物質:三氯氟甲烷);δ=-110.0 (s, 2F; CF<sub>3</sub>)2).
描述(質譜)評論(質譜)
ESI(電噴霧電離),LCMS(液相色譜質譜)分子峰
ESI(電噴霧電離)分子峰263.2 m / z
LCMS(液相色譜質譜),ESI(電噴霧電離)
LCMS(液相色譜質譜),ESI(電噴霧電離)
描述(UV / VIS光譜)
光譜

合成路線(ROS)

1-(三環[3.3.1.13,7]癸-1-基甲基)2,2-二氟-2-磺基乙酸酯(11) CAS# 1022939-88-3 的三苯基鍺鹽的合成路線
1-(三環[3.3.1.13,7]癸-1-基甲基)2,2-二氟-2-磺基乙酸酯(11) CAS# 1022939-88-3 的三苯基鍺鹽的合成路線
條件產量
在80℃的水中;
在甲醇中;在水中浸泡 15 小時;

安全與危害

GHS危害聲明未分類

其他數據

交通運輸NONH適用於所有運輸方式
在室溫和遠離光線下
HS編碼沒有可用數據
儲存在室溫和遠離光線下
保質期2年
市場價USD
藥物相似性
Lipinski規則組件
分子量586.721
日誌8.553
HBA5
HBD0
匹配Lipinski規則2
Veber規則組件
極性表面積(PSA)91.88
可旋轉債券(RotB)8
匹配Veber規則2
使用模式
核心功能:光酸發生器(PAG)
它吸收光並發生光解作用
產生強酸(二氟甲磺酸)
生成的酸可以催化化學放大反應或引發後續的陽離子聚合反應。它是光阻和陽離子光聚合物固化系統中的關鍵功能添加劑。
二、主要應用領域
1.半導體光阻(化學放大光阻,CARs)
適用於:
i線、KrF和ArF光刻系統
高分辨率化學放大光阻
主要功能:
暴露於酸中會產生酸
催化脫保護反應
增強曝光效果 → 提高解析度、靈敏度和關鍵尺寸/線邊緣粗糙度 (CD/LER) 控制
金剛烷基結構的優點:
提供高熱穩定性
減少酸擴散 → 提高解析度和線邊緣粗糙度
提高光阻的光學性能和配方穩定性
陽離子光固化系統
用於環氧樹脂和乙烯醚材料的紫外光誘導陽離子固化
紫外線照射→生成酸→引發陽離子開環聚合或交聯
應用範圍包括:
紫外線固化塗料和油墨
電子封裝材料
光刻圖案化絕緣層(例如,PSPI、PI)

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